▋特種氣體概況

工業(yè)氣體：工業(yè)“血液”

工業(yè)中，把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統稱(chēng)為工業(yè)氣體。工業(yè)氣體是現代工業(yè)的基礎原材料，在國民經(jīng)濟中有著(zhù)重要的地位和作用，工業(yè)氣體行業(yè)原材料是空氣、工業(yè)廢氣、基礎化學(xué)原料等，其上游行業(yè)是氣體分離及純化設備制造業(yè)、基礎化學(xué)原料行業(yè)、壓力容器設備制造業(yè)等。下游領(lǐng)域包括集成電路、液晶面板、LED、光纖通信、光伏、醫療健康、節能環(huán)保、新材料、新能源、高端裝備制造等新興行業(yè)以及冶金、化工、機械制造等傳統行業(yè)，對國民經(jīng)濟的發(fā)展有著(zhù)戰略性的支持作用，因此被喻為“工業(yè)的血液”。

根據制備方式和應用領(lǐng)域的不同，工業(yè)氣體可分為大宗氣體和特種氣體，大宗氣體主要包括氧、氮、氬等空分氣體及乙炔、二氧化碳等合成氣體，特種氣體品種較多，主要包括電子特種氣體、高純氣體和標準氣體等。

特種氣體：現代工業(yè)“糧食”

特種氣體是工業(yè)氣體中的一個(gè)新興門(mén)類(lèi)，是隨著(zhù)近年來(lái)國防工業(yè)、科學(xué)研究、自動(dòng)化技術(shù)、精密檢測，特別是微電子技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來(lái)的。20 世紀 80 年代，電子產(chǎn)業(yè)的興起推動(dòng)特種氣體的需求提高，外資開(kāi)始通過(guò)收購、新設等方式建立氣體公司進(jìn)入中國氣體市場(chǎng)，向國內氣體用戶(hù)提供氣體產(chǎn)品，隨著(zhù)氣體供應商供氣模式的引入，國內企業(yè)原有的氣體車(chē)間、氣體廠(chǎng)和供氣站等紛紛發(fā)展為獨立的氣體公司，國內特種氣體市場(chǎng)逐步發(fā)展起來(lái)。

從應用領(lǐng)域劃分，特種氣體主要有電子氣體、高純氣體和標準氣體三種，廣泛應用于電子半導體、化工、醫療、環(huán)保和高端裝備制造等領(lǐng)域。其中，電子氣體是指用于半導體及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的氣體，目前，我國電子氣體品種基本齊全，但數量和質(zhì)量與發(fā)達國家相比，尚有較大差距；高純氣體通常指利用現代提純技術(shù)能達到的某個(gè)等級純度的氣體，對于不同類(lèi)別的氣體，純度指標不同，大多用于超大規模集成電路及分離器件、光電子等高科技領(lǐng)域；標準氣體嚴格意義上應稱(chēng)為標準校正氣體，是一種高度均勻，穩定性良好和量值準確的氣體，可分為單元標準氣體和多元標準氣體，目前標準氣基本滿(mǎn)足了我國石油、化工、環(huán)保、傳感器校核等諸多領(lǐng)域的需求，但對活性較強的標準氣，國內尚無(wú)法徹底解決量產(chǎn)問(wèn)題。

在 2018 年我國特種氣體年銷(xiāo)售額中，電子行業(yè)約占 41%，石油化工約占 39%，醫療環(huán)保約占 10%，其它約占 10%。

電子氣體：電子工業(yè)“血液”

廣義的“電子氣體”指可用于電子工業(yè)生產(chǎn)中使用的氣體，是最重要原材料之一，狹義的“電子氣體”特指可用于電子半導體領(lǐng)域生產(chǎn)的特種氣體。電子氣體可以分為電子特種氣體和電子大宗氣體。電子氣體在電子產(chǎn)品制程工藝中廣泛應用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱(chēng)為集成電路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“糧食”和“源”。

電子氣體地位日益凸顯

近年來(lái)，隨著(zhù)電子工業(yè)的快速發(fā)展，電子氣體在半導體行業(yè)中的地位日益凸顯。在微電子、光電子器件生產(chǎn)過(guò)程中，從單個(gè)芯片生成到最后器件的封裝，幾乎每一步、每一個(gè)環(huán)節都離不開(kāi)電子氣體，在不同的電子應用領(lǐng)域中，電子特種氣體和電子大宗氣體的成本占比略有不同。其中，集成電路領(lǐng)域，電子特種氣體和電子大宗氣體各自占比50%。電子氣體的質(zhì)量很大程度上決定了半導體器件性能的好壞。電子氣體純度每提高一個(gè)數量級，都會(huì )極大地推動(dòng)半導體器件質(zhì)的飛躍。

電子氣體是僅次于大硅片的第二大市場(chǎng)需求半導體材料，電子氣體在 2016 年的半導體材料市場(chǎng)占比達 14%。隨著(zhù)半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，電子氣體市場(chǎng)也隨之增長(cháng)。

電子特種氣體的下游應用領(lǐng)域主要為電子半導體領(lǐng)域，具體又分為光伏、光纖通信、LED、液晶面板和集成電路，電子特氣市場(chǎng)需求與下游產(chǎn)業(yè)景氣度關(guān)聯(lián)度較高。2018 年中國集成電路、顯示面板、光伏三大下游對電子特氣的需求占比超過(guò) 90%。

電子特氣在電子產(chǎn)業(yè)的應用

1）電子氣體在集成電路領(lǐng)域的應用

特種氣體是半導體材料制造過(guò)程不可缺少的基硅性支撐材料，處于半導體產(chǎn)業(yè)鏈的上游，被稱(chēng)為半導體的“源”，主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。

化學(xué)氣相沉積(CVD)：是通過(guò)氣體混合的化學(xué)反應，在硅片表面沉積一層固體膜的工藝，通常包括氣體傳輸至沉積區域、膜先驅物的形成、膜先驅物附著(zhù)在硅片表面、膜先驅物粘附、膜先驅物擴散、表面反應、副產(chǎn)物從表面移除、副產(chǎn)物從反應腔移除等八個(gè)主要步驟?；瘜W(xué)氣相沉積常用的特種氣體包括:SiH4、DCS、TCS、SiCl4、TEOS、NH3、N2O、WF6、H2、O2。

刻蝕：是采用化學(xué)和物理方法，有選擇地從硅片表面去除不需要的材料的過(guò)程，刻蝕的目的是在涂膠的硅片上正確地復制掩膜圖形，可分為濕法刻蝕和干法刻蝕。硅片的刻蝕氣體主要是氟基氣體，包括 CF4、CF4/O2、SF6、C2F6/O2、NF3 等，但由于其各向同性，選擇性較差，因此改進(jìn)后的刻蝕氣體通常包括氯基(Cl2)和溴基(Br2、HBr)氣體。鋁和金屬復合層的刻蝕通常采用氯基氣體，如 CCl4、Cl2、BCl3 等。

摻雜：是將需要的雜質(zhì)摻入特定的半導體區域中，以改變半導體電學(xué)性質(zhì)，形成pn 結、電阻、歐姆接觸等。常用的三價(jià)摻雜氣體有 B2H6、BBr3、BF3 等，常用的五價(jià)摻雜氣體有 PH3、POCl3、AsH3、SbCl5 等。

2）電子氣體顯示面板領(lǐng)域應用

薄膜晶體管（TFT）和液晶顯示器（LCD）具有體積小、重量輕、低輻射、低耗電量、全彩化、速度快、對比度和亮高、屏幕觀(guān)察角度大、分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，是目前主流的平面顯示設備。TFT/LCD 的生產(chǎn)包括 TFT 陣列(包括薄膜、光刻、刻蝕)、彩色濾光片(包括黑矩陣膜、紅綠藍膜、透明導電層)、面板、模組等工序。薄膜工序，通過(guò)化學(xué)氣相沉積，在玻璃基板上沉積 SiO2、SiNx、a2Si、n 型 a2Si 薄膜，使用的特種氣體有 SiH4、PH3、NH3、NF3 等；干法刻蝕工序，在等離子氣態(tài)氛圍中選擇性腐蝕基材，通常采用 SF6、HCl、Cl2 等氣體。

3）電子氣體在太陽(yáng)能電池中的應用

太陽(yáng)能電池分為晶體硅太陽(yáng)能電池和薄膜太陽(yáng)能電池，薄膜太陽(yáng)能電池分為非晶硅(a-Si)薄膜和非晶/微晶硅(a-Si/μc-Si)疊層薄膜。晶體硅電池片生產(chǎn)中的擴散工藝用到 POCl3 和 O2，減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3，刻蝕工藝用到 CF4；非晶硅太陽(yáng)能電池在 LPCVD 沉積 TCO 工序用到 DEZn、B2H6；非晶/微晶硅沉積工序用到 SiH4、PH3/H2、TMB/H2、CH4、NF3 等。

下游需求旺盛，引領(lǐng)特氣行業(yè)高增長(cháng)

下游產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，引領(lǐng)特氣行業(yè)高增長(cháng)

我國特種氣體行業(yè)在 2006 年后進(jìn)入快速發(fā)展階段，廣泛應用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車(chē)、航空航天、環(huán)保和醫療等新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，在《十三五國家戰略新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展規劃》等產(chǎn)業(yè)政策的推動(dòng)下，特種氣體的下游產(chǎn)業(yè)迅速發(fā)展，同時(shí)產(chǎn)業(yè)創(chuàng )新、技術(shù)迭代帶來(lái)新工藝和新產(chǎn)品等，不僅在規模上增加了特種氣體的需求，也進(jìn)一步拓寬了特種氣體的應用領(lǐng)域，不斷產(chǎn)生新的特種氣體產(chǎn)品需求。

1）半導體行業(yè)：產(chǎn)業(yè)鏈向國內轉移，市場(chǎng)持續增長(cháng)

半導體產(chǎn)業(yè)向國內轉移。從區域分布看，根據 WSTS 統計數據，亞太地區市場(chǎng)規模占全球市場(chǎng)的比例不斷提高，亞太與日本市場(chǎng)合計約占全球半導體市場(chǎng)的 70%左右，2017 年，全球半導體市場(chǎng)規模為 4122.21 億美元，同比增長(cháng) 21.6%，2018 年全球半導體市場(chǎng)保持增長(cháng)勢頭，市場(chǎng)規模達到 4779.40 億美元，同比增長(cháng) 15.90%；從芯片銷(xiāo)售額看，根據 WSTS 發(fā)布的數據，2016 年中國半導體消費額 1075 億美元，占全球總量的32%，已成為全球最大的半導體消費市場(chǎng)。隨著(zhù)國內制造業(yè)環(huán)節快速發(fā)展，以及國內巨大的消費市場(chǎng)和勞動(dòng)力人口優(yōu)勢，半導體產(chǎn)業(yè)將加快向國內轉移，世界市場(chǎng)份額不斷向中國集中。

半導體行業(yè)持續增長(cháng)。全球半導體市場(chǎng)規模近年來(lái)增速平穩，2012-2018 年復合增速 8.23%。其中，中國大陸集成電路銷(xiāo)售規模從 2158 億元迅速增長(cháng)到 2018 年的 6531億元，復合增速為 20.27%，遠超全球其他地區，全球半導體產(chǎn)業(yè)加速向大陸轉移。2014年國家發(fā)布了《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》并設立了投資產(chǎn)業(yè)基金，根據規劃我國集成電路銷(xiāo)售額平均增速將保持在 20%，因此半導體集成電路電子用氣市場(chǎng)規模有望快速增長(cháng)。

2）顯示面板行業(yè)：尺寸大型化發(fā)展，市場(chǎng)平穩增長(cháng)

全球顯示面板行業(yè)穩定增長(cháng)。全球平板顯示產(chǎn)業(yè)保持平穩增長(cháng)，業(yè)態(tài)發(fā)展呈現尺寸大型化、競爭白熱化、轉移加速化和產(chǎn)品定制化等特點(diǎn)，受益于電視平均尺寸增加以及大屏手機、車(chē)載顯示和公共顯示等需求的拉動(dòng)，根據 IHS 預測，2016 年-2025 年全球新型顯示面板需求面積的 CAGR 預計將達 4%，到 2025 年增長(cháng)至 2.66 億平方米。

我國面板顯示行業(yè)市占率不斷提升。受益于國家政策的支持，我國面板顯示行業(yè)逐漸發(fā)展起來(lái)，在全球的市占率也逐步提高，2011 年中國大陸大尺寸面板占全球比例約為 1%，經(jīng)過(guò)多年的發(fā)展，2018 年上升至 42%，大尺寸面板產(chǎn)能為 78.9 百萬(wàn)平方米/年，預計 2020 年達到 125.9 百萬(wàn)平方米/年。

LCD 市場(chǎng)，近年來(lái)我國面板廠(chǎng)商繼續加快高世代液晶面板生產(chǎn)線(xiàn)的建設與投產(chǎn)，2019-2021 年將有 8 條產(chǎn)線(xiàn)陸續投產(chǎn)，合計產(chǎn)能超過(guò) 6000 萬(wàn)平方米，預計到 2021 年中國將占到全球 58%的市場(chǎng)份額。在 OLED 市場(chǎng)方面，目前是韓國占據主導地位，但國內面板廠(chǎng)商近年來(lái)不斷提高 OLED 技術(shù)，同時(shí)加快布局 OLED 生產(chǎn)線(xiàn)。預計未來(lái)國內 OLED面板產(chǎn)能將會(huì )得到快速的釋放，據 DSCC 預測，中國 OLED 面板市場(chǎng)份額到 2025 年將會(huì )快速增長(cháng)至 43%。

3）光伏行業(yè)：國家政策支持，市場(chǎng)快速增長(cháng)

中國光伏產(chǎn)業(yè)起步較晚但呈現迅速發(fā)展的勢頭。2010 年后，在歐洲經(jīng)歷光伏產(chǎn)業(yè)需求放緩的背景下，我國光伏產(chǎn)業(yè)迅速崛起，成為全球光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展的主要動(dòng)力，2018年全國新增光伏并網(wǎng)裝機容量達到 44GW，同比下降 17%，累計光伏裝機并網(wǎng)容量超過(guò)174GW，2019 年，我國新增光伏并網(wǎng)裝機容量達到 30.1GW，同比下降 32.0%，累計光伏并網(wǎng)裝機量達到 204.3GW，同比增長(cháng) 17.1%，盡管在政策調整下，整體光伏市場(chǎng)有所下滑，受益于海外市場(chǎng)的增長(cháng)，我國光伏產(chǎn)業(yè)規模穩步擴大、技術(shù)創(chuàng )新不斷推進(jìn)、出口增速不斷提升。自 2013 年至 2019 年我國新增和累計裝機容量均為全球第一，預計 2020年光伏新增裝機量超過(guò) 35GW，較 2019 年有所回升，累計裝機有望達到約 240GW。

氣體市場(chǎng)持續發(fā)展

全球工業(yè)氣體市場(chǎng)近年來(lái)呈現穩步增長(cháng)的態(tài)勢，2018 年全球工業(yè)氣體市場(chǎng)規模約為 1220 億美元。目前，全球工業(yè)氣體需求的主要市場(chǎng)仍然是北美和歐洲，但增速顯著(zhù)放緩；亞太地區近年來(lái)發(fā)展很快，已成為拉動(dòng)全球市場(chǎng)增長(cháng)的主要引擎。

我國工業(yè)氣體行業(yè)在 80 年代末期已初具規模，到 90 年代后期開(kāi)始快速發(fā)展。近年來(lái)我國工業(yè)氣體行業(yè)發(fā)展迅速，市場(chǎng)規模由 2010 年的 410 億元上升至 2018 年的 1350億元，2010-2018 年年均復合增長(cháng)率達到 16.05%。與發(fā)達國家相比，我國人均工業(yè)氣體消費量還處在較低水平，根據 2018 年的人均工業(yè)氣體消費量統計，我國的人均工業(yè)氣體消費只有美國的 1/26，不足西歐與澳洲的 1/20，與南美和東歐國家也有較大差距，未來(lái)仍有很大的發(fā)展潛力。

新興分散用氣市場(chǎng)逐漸興起。工業(yè)氣體市場(chǎng)較為復雜，可大致分為大宗集中用氣市場(chǎng)和新興分散用氣市場(chǎng)，其中大宗集中用氣市場(chǎng)主要是傳統行業(yè)，包括冶金、煉化和煤化工等，對氣體需求品種單一且使用量巨大，而新興分散用氣市場(chǎng)主要是高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，包括電子制造、光伏和生物醫藥等。鋼鐵、化工等傳統大宗用氣市場(chǎng)規模相對較為穩定，用氣品類(lèi)也較為單一，新興分散零售市場(chǎng)用氣數量和種類(lèi)在工業(yè)氣體應用中占比越來(lái)越高，由 2007 年占比 40%提升至 2015 年 52%，有逐漸超過(guò)傳統行業(yè)用氣市場(chǎng)需求的趨勢。

全球特種氣體行業(yè)保持平穩增長(cháng)態(tài)勢。全球特種氣體市場(chǎng)規模由 2010 年 200 億美元增長(cháng)至 2018 年 421 億美元，年均復合增長(cháng)率為 9.75%。根據前瞻產(chǎn)業(yè)研究院預測，未來(lái)數年全球特種氣體市場(chǎng)規模將以年均 9%的速度增長(cháng)，預計 2024 年全球特種氣體市場(chǎng)規模將達到 706 億美元。從地區分布來(lái)看，美洲是全球特種氣體市場(chǎng)規模最大的地區，占比約為 45.17%，其次為歐洲、中東和非洲市場(chǎng)占比 31.40%，亞太地區占比最小為23.43%。預計至 2020 年，亞太地區特種氣體需求增長(cháng)最快，市場(chǎng)規模將達到 168 億美元，所占比重提升至 25.80%；美洲地區需求增長(cháng)有所放緩，市場(chǎng)規模為 253 億美元，占比降至 38.90%。

我國特種氣體行業(yè)市場(chǎng)規模呈現穩定上升趨勢。特氣行業(yè)市場(chǎng)規模由 2010 年118.14 億元增長(cháng)至 2018 年 296.49 億元，年均復合增長(cháng)率為 12.19%，預計未來(lái)五年我國特種氣體市場(chǎng)持續增長(cháng)，2019-2024 年特種氣體市場(chǎng)增速可以達到 12%左右，2024 年市場(chǎng)規模中性預測可達 1087 億元，保守預計將達到 915 億元。

我國電子特種氣體市場(chǎng)規模保持快速發(fā)展。電子特氣市場(chǎng)規模由 2010 年 38.99 億元增長(cháng)至 2018 年 121.56 億元，年均復合增長(cháng)率為 15.21%，電子特氣市場(chǎng)規模占我國特氣市場(chǎng)規模的份額也在逐步提升，2018 年占比達到 20.8%。從細分領(lǐng)域來(lái)看，應用于半導體領(lǐng)域的電子特氣市場(chǎng)規模占比不斷提高，2018 年半導體領(lǐng)域需求市場(chǎng)規模達 85億元。2014 年《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》提出到 2020 年集成電路全行業(yè)銷(xiāo)售收入年均增速超過(guò) 20%，隨后國家出臺一系列相關(guān)產(chǎn)業(yè)政策支持集成電路行業(yè)的發(fā)展，未來(lái)集成電路行業(yè)將持續保持增長(cháng)，預計到 2024 年我國電子特氣市場(chǎng)規模將會(huì )達到 230億元。

外企寡頭壟斷，國產(chǎn)化勢在必行

行業(yè)具有較高的進(jìn)入門(mén)檻

特氣行業(yè)具有較高的進(jìn)入壁壘。特種氣體在其生產(chǎn)過(guò)程中涉及合成、純化、混合氣配制、充裝、分析檢測和氣瓶處理等多項工藝技術(shù)，以及客戶(hù)對純度、精度等的高要求，對行業(yè)的擬進(jìn)入者形成了較高的技術(shù)壁壘。除較高的技術(shù)壁壘外，特種氣體行業(yè)還存在著(zhù)客戶(hù)認證壁壘、資金壁壘、市場(chǎng)壁壘、資質(zhì)壁壘以及人才壁壘，因此，由于行業(yè)較高的進(jìn)入門(mén)檻，我國高端特種氣體市場(chǎng)一直被幾家外資氣體巨頭公司所占據，雖然在傳統及中低端產(chǎn)品方面，我國已經(jīng)形成了規模優(yōu)勢，但在高端氣體尤其是特氣方面，我國的差距還是比較明顯。

外企寡頭壟斷，市場(chǎng)高度集中

經(jīng)過(guò)多年的發(fā)展和兼并收購，全球工業(yè)氣體市場(chǎng)多頭壟斷的市場(chǎng)格局。2018 年 10月 23 日，德國林德集團官方宣布與美國普萊克斯集團完成對等合并，成為全球最大的工業(yè)氣體業(yè)務(wù)供應商，合并后三大氣體巨頭林德集團、液化空氣、空氣化工占據全球工業(yè)氣體外包市場(chǎng) 76.71%的份額，市場(chǎng)高度集中。

全球半導體用電子氣體市場(chǎng)中，2018 年，空氣化工、林德集團、液化空氣和大陽(yáng)日酸等四大公司控制著(zhù)全球 90%以上的市場(chǎng)份額，形成寡頭壟斷的局面。在國內市場(chǎng)，海外四大氣體巨頭控制了我國電子特氣市場(chǎng) 88%的份額，國內氣體公司市場(chǎng)份額合計僅占 12%，國內企業(yè)占比較低。國內電子氣體起步較晚，在技術(shù)上與國外有一定差距，目前一些電子氣體實(shí)現了國產(chǎn)化，如超純氨、氧化亞氮、氟碳類(lèi)氣體等，但包括氦氣在內的大多數電子氣體仍以進(jìn)口為主，未來(lái)我國電子氣體進(jìn)口替代空間較大。

政策大力支持，國產(chǎn)化勢在必行

國家產(chǎn)業(yè)政策支持助推行業(yè)快速發(fā)展。特種氣體作為關(guān)鍵性材料，應用廣泛，特別是在集成電路、顯示面板、光伏能源和光纖光纜等新興領(lǐng)域發(fā)揮重要作用。近年來(lái)特氣行業(yè)得到國家政策的大力支持，國家發(fā)改委、科技部、工信部和財政部等多部門(mén)相繼出臺多部新興產(chǎn)業(yè)相關(guān)政策，均明確提及并部署了氣體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，并且對于特種氣體確立了其新材料產(chǎn)業(yè)屬性，有力推動(dòng)了氣體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

國內特種氣體發(fā)展的初期由于技術(shù)、工藝、設備等多方面差距明顯，產(chǎn)品大多依賴(lài)進(jìn)口。從特種氣體進(jìn)出口金額來(lái)看，我國進(jìn)口金額遠遠大于出口金額，2017 年，我國特種氣體進(jìn)口金額為 125.85 億美元，出口金額為 8.57 億美元。隨著(zhù)技術(shù)的逐步突破，國內氣體公司在電光源氣體、激光氣體、消毒氣等領(lǐng)域發(fā)展迅速，但與國外氣體公司相比，大部分國內氣體公司的供應產(chǎn)品仍較為單一，用氣級別不高，尤其在集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等高端領(lǐng)域，相關(guān)特種氣體產(chǎn)品主要依賴(lài)進(jìn)口。隨著(zhù)國內這些下游新興產(chǎn)業(yè)的技術(shù)更迭和快速發(fā)展，而且特種氣體作為危險化學(xué)品，產(chǎn)品包裝、運輸有嚴格的規定，相較于國外企業(yè)，國內特種氣體企業(yè)物流成本更低，供貨更及時(shí)，同時(shí)國內產(chǎn)品價(jià)格具有明顯的優(yōu)勢，因此，特種氣體國產(chǎn)化是未來(lái)行業(yè)發(fā)展的必然趨勢。

我國特種氣體市場(chǎng)中，國內氣體企業(yè)雖然數量眾多，但普遍規模較小，且一般為區域性企業(yè)，截至 2017 年底，我國特種氣體行業(yè)規模以上企業(yè)數量達到 211 家，較上年增加 4 家，保守估計 2018 年我國特種氣體企家數量為 225 家。國內主要企業(yè)有中船重工七一八所、黎明化工研究院、綠菱氣體、金宏氣體、南大光電和華特氣體。盡管與國際氣體公司相比，國內氣體公司在資金、技術(shù)、設備等方面仍有差距，但在技術(shù)不斷突破、國家政策大力扶持、下游市場(chǎng)發(fā)展迅速等多重因素影響下，加上國內企業(yè)擁有的國際企業(yè)無(wú)法比擬的低成本、貼近客戶(hù)、反應靈活等優(yōu)勢，國內氣體企業(yè)的競爭力將不斷增強，市場(chǎng)份額有望擴大。

▊相關(guān)企業(yè)分析

華特氣體：特種氣體國產(chǎn)化先行者

核心技術(shù)打破特氣進(jìn)口制約，訂單實(shí)現增長(cháng)。廣東華特氣體股份有限公司創(chuàng )建于1999 年，主營(yíng)業(yè)務(wù)以特種氣體的研發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售為核心，以普通工業(yè)氣體和相關(guān)氣體設備與工程業(yè)務(wù)為輔。公司的特種氣體產(chǎn)品至今已有約 230 余種，率先實(shí)現了包括高純四氟化碳、高純六氟乙烷、光刻氣、高純二氧化碳等近 20 種產(chǎn)品的進(jìn)口替代，是中國特種氣體國產(chǎn)化的先行者。同時(shí)，公司向下游半導體客戶(hù)持續導入新產(chǎn)品以及下游客戶(hù)開(kāi)始擴產(chǎn)，如中芯國際的寧波中芯、中芯南方、紹興中芯等多條產(chǎn)線(xiàn)量產(chǎn)，華虹宏力無(wú)錫生產(chǎn)線(xiàn)量產(chǎn)，長(cháng)江存儲、華潤微電子重慶生產(chǎn)線(xiàn)擴產(chǎn)，特種氣體從此類(lèi)半導體領(lǐng)域的老客戶(hù)中的銷(xiāo)售收入將實(shí)現增長(cháng)。

客戶(hù)資源優(yōu)質(zhì)，境內外業(yè)務(wù)兼顧。公司擁有國內一線(xiàn)客戶(hù)，進(jìn)入國際半導體供應鏈。公司的客戶(hù)可分為為終端客戶(hù)和氣體公司，終端客戶(hù)以集成電路等半導體領(lǐng)域為主，主要包括中芯國際、華虹宏力、華潤微電子等國內知名客戶(hù)等；氣體公司客戶(hù)以海外大型氣體公司為主，包括液化空氣集團、普萊克斯集團、大陽(yáng)日酸株式會(huì )社、林德集團等。公司注重海外業(yè)務(wù)的拓展，是國內最早從事氣體進(jìn)出口業(yè)務(wù)的氣體企業(yè)之一，在氣體出口規模上處于國內領(lǐng)先地位。2016-2018 年，公司的境外主營(yíng)業(yè)務(wù)收入分別為 1.50 億元、1.32 億元、1.60 億元，占主營(yíng)業(yè)務(wù)收入的比例分別為 23.10%、16.90%、19.76%。

產(chǎn)能陸續投放，保障公司發(fā)展。華特氣體于 2019 年底在科創(chuàng )板上市，公司本次公開(kāi)發(fā)行股票不超過(guò) 3000 萬(wàn)股，計劃募集資金 4.5 億元，公司擬投資 3.48 億元用于氣體中心建設及倉儲經(jīng)營(yíng)項目，根據測算，項目達產(chǎn)后可新增營(yíng)收 3.32 億元，內部收益率為 18.25%，投資回收期為 7.58 年。公司擬投資 0.9 億元開(kāi)展電子氣體生產(chǎn)純化及工業(yè)氣體充裝項目。根據測算，本項目建設期為 36 個(gè)月，項目達產(chǎn)后可新增營(yíng)收 1.73 億元，項目?jì)炔渴找媛蕿?21.29%，投資回收期為 6.43 年。此外，公司還擬投資智能化運營(yíng)項目提升公司智能化管理水平、運營(yíng)效率及產(chǎn)品安全性水平，補充流動(dòng)資金以增強公司的運營(yíng)能力和市場(chǎng)競爭力。

昊華科技：電子特氣行業(yè)領(lǐng)軍者

重組 11 家化工研究院實(shí)現整體上市。公司的前身天科股份，以碳一化學(xué)技術(shù)及催化劑的生產(chǎn)銷(xiāo)售為主營(yíng)業(yè)務(wù)，于 2001 年 1 月在上交所掛牌上市，2018 年，公司收購晨光院、黎明院、西北院、光明院、曙光院、沈陽(yáng)院、?；?、大連院、錦西院、株洲院和北方院 100%股權，公司業(yè)務(wù)范圍及結構實(shí)現拓展、優(yōu)化，從以提供技術(shù)服務(wù)為主導的業(yè)務(wù)模式轉變?yōu)橐援a(chǎn)品、研發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售一體化發(fā)展的經(jīng)營(yíng)模式，主營(yíng)業(yè)務(wù)為氟材料、特種氣體、特種橡塑制品、精細化學(xué)品和技術(shù)服務(wù)五大板塊。重組后公司轉型升級為先進(jìn)材料、特種化學(xué)品及創(chuàng )新服務(wù)提供商。2019 年 6 月，公司更名為昊華科技。

電子特氣技術(shù)領(lǐng)先企業(yè)。公司子公司黎明院是最早從事六氟化硫研發(fā)的企業(yè)，亦是國內僅有的高純度六氟化硫研制企業(yè)。三氟化氮主要應用于半導體工業(yè)的氣體清洗劑，液晶顯示行業(yè)的蝕刻劑和太陽(yáng)能電池制造業(yè)的蝕刻和清洗氣體。公司與京東方等下游領(lǐng)先企業(yè)建立了穩固合作關(guān)系，是國內領(lǐng)先三氟化氮供應商。此外，公司自主研發(fā)生產(chǎn)的硒化氫和綠色四氧化二氮等，已成功實(shí)現進(jìn)口替代，在細分軍品領(lǐng)域內，具有領(lǐng)先優(yōu)勢。光明院是是我國重要的特種氣體研究、生產(chǎn)基地，承擔過(guò)多項國家各類(lèi)科技項目。主要產(chǎn)品包括綠色四氧化二氮、高純硒化氫、高純硫化氫、二氧化碳-環(huán)氧乙烷混合氣、標準混合氣體。光明院曾為中國載人航天工程協(xié)作配套工作、“嫦娥工程”等項目做出貢獻，在國防化工新材料、半導體集成電路、氣體分析具有行業(yè)領(lǐng)先優(yōu)勢。

重組后公司業(yè)績(jì)保持增長(cháng)。2018 年為公司重大資產(chǎn)重組之年，公司全年營(yíng)業(yè)收入達到 41.82 億元，營(yíng)收的大幅增長(cháng)來(lái)源于中昊晨光化工研究院等 11 家公司并入報表，同口徑下?tīng)I業(yè)收入較 2017 年度增長(cháng) 14.7%。2019 年公司實(shí)現營(yíng)業(yè)收入 47.01 億元，同比增長(cháng) 10.55%；歸母凈利潤 5.25 億元，同比下降 0.75%。公司營(yíng)收結構中，氟材料、精細化學(xué)品和特種橡膠產(chǎn)品三者合計占營(yíng)收比例超過(guò) 90%，特種氣體占營(yíng)收比例不斷提升，由 2018 年占比 7.75%提升至 2019 年 8.91%。

金宏氣體：國內氣體行業(yè)民營(yíng)龍頭

華東地區重要的特種氣體和大宗氣體供應商。公司成立于 1999 年，2014 年在新三板上市，2020 年公司終止新三板掛牌，在科創(chuàng )板上市。公司是一家專(zhuān)業(yè)從事氣體研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售和服務(wù)的環(huán)保集約型綜合氣體供應商。公司目前已初步建立品類(lèi)完備、布局合理、配送可靠的氣體供應和服務(wù)網(wǎng)絡(luò )，能夠為電子半導體、醫療健康、節能環(huán)保、新材料、新能源、高端裝備制造等行業(yè)客戶(hù)提供特種氣體、大宗氣體和天然氣三大類(lèi) 100多個(gè)氣體品種。根據中國工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會(huì )的統計，2017-2018 年公司銷(xiāo)售額連續兩年在協(xié)會(huì )的民營(yíng)氣體行業(yè)企業(yè)統計中名列第一。

研發(fā)能力突出，擁有優(yōu)質(zhì)客戶(hù)資源。公司目前擁有 150 項專(zhuān)利，其中發(fā)明專(zhuān)利 32項，主導或參與制定多項國家標準，擁有氣體行業(yè)中唯一專(zhuān)注于電子氣體研發(fā)的國家企業(yè)技術(shù)中心、CNAS 實(shí)驗室，多次承擔國家科技部火炬項目。公司與國內電子半導體領(lǐng)域的眾多知名企業(yè)建立了合作關(guān)系，例如集成電路行業(yè)的聯(lián)芯集成、華潤微電子、華力微電子、矽品科技、士蘭微等，液晶面板行業(yè)的京東方、三星電子等，LED 行業(yè)的三安光電、聚燦光電、乾照光電、華燦光電等，光纖通信行業(yè)的亨通光電、富通集團、住友電工，光伏行業(yè)的通威太陽(yáng)能、天合光能、隆基股份等。

與外資企業(yè)錯位競爭。公司目前的供氣模式以零售供氣為主，中小型現場(chǎng)制氣為輔，氣體品種較全，超純氨、高純氧化亞氮等特種氣體品質(zhì)已達到進(jìn)口替代水平。相比于外資氣體企業(yè)以大型現場(chǎng)制氣為主的供氣方式，公司銷(xiāo)售的瓶裝氣、儲槽氣可較好地滿(mǎn)足廣大中小型企業(yè)的用氣需求，從而在細分市場(chǎng)與外資企業(yè)形成錯位競爭優(yōu)勢。

募投項目提升公司競爭力。公司向社會(huì )公眾公開(kāi)發(fā)行不超過(guò) 12108.34 萬(wàn)股人民幣普通股，募集資金用于投資“張家港金宏氣體有限公司超大規模集成電路用高純氣體項目”、“蘇州金宏氣體股份有限公司研發(fā)中心項目”、“年充裝 392.2 萬(wàn)瓶工業(yè)氣體項目”、“年充裝 125 萬(wàn)瓶工業(yè)氣體項目”、“智能化運營(yíng)項目”和“發(fā)展與科技儲備資金”六個(gè)項目。募投項目建成后，公司的工業(yè)氣體充裝產(chǎn)能和研發(fā)生產(chǎn)能力將大大提高，智能化和安全性水平也將得到提升，有助于公司搶占市場(chǎng)先機，同時(shí)能夠在一定程度上提升公司市場(chǎng)占有率。

和遠氣體：華中知名民營(yíng)專(zhuān)業(yè)氣體企業(yè)

華中地區知名民營(yíng)專(zhuān)業(yè)氣體企業(yè)。公司致力于各類(lèi)氣體產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售、服務(wù)以及工業(yè)尾氣回收循環(huán)利用，公司經(jīng)營(yíng)的主要氣體可大致分為三類(lèi)：普通氣體、特種氣體以及清潔能源。主要滿(mǎn)足化工、食品能源、照明、家電、鋼鐵、機械、農業(yè)等基礎行業(yè)和光伏、通信、電子、醫療等新興產(chǎn)業(yè)對氣體和清潔能源的需求。目前，公司銷(xiāo)售服務(wù)網(wǎng)絡(luò )覆蓋湖北全境并輻射華中地區，是華中地區知名的綠色環(huán)保型綜合氣體專(zhuān)業(yè)供應商。

差異化技術(shù)路線(xiàn)打造公司獨特競爭力。公司除了以空分氣體的生產(chǎn)與銷(xiāo)售為業(yè)務(wù)核心體系外，率先將氣體分離技術(shù)應用于以工業(yè)尾氣回收循環(huán)再利用為核心的環(huán)保產(chǎn)業(yè)，并成功實(shí)施了“興發(fā)集團離子膜燒堿尾氫回收提純”、“三寧合成氨馳放氣尾氣回收”、“烽火科技尾氦提純循環(huán)利用”、“新疆晶科單晶硅氬氣尾氣回收循環(huán)再利用項目”等一系列項目。為客戶(hù)低成本、有效的解決了危廢處理，形成資源的循環(huán)再利用，同時(shí)為公司在工業(yè)尾氣回收領(lǐng)域建立起良好的品牌效應，拓展了市場(chǎng)空間，在市場(chǎng)上形成了有別于其他氣體公司的獨特競爭力。

擁有優(yōu)質(zhì)客戶(hù)資源。公司經(jīng)過(guò)多年的發(fā)展，在華中地區各個(gè)行業(yè)積聚了一批優(yōu)質(zhì)的客戶(hù)。其中工業(yè)氣體客戶(hù)包括興發(fā)集團、烽火通信、格力電器、美的集團、晶科能源、武鋼氣體、三寧化工等上市公司和國內知名企業(yè)；食品級液氮客戶(hù)包括頂津食品、紅牛飲品、百事食品、伊利乳業(yè)、匯源果汁、銀鷺集團等多家知名食品企業(yè)；醫用氧客戶(hù)包括武漢兒童醫院、宜昌市中心醫院等大型醫療機構。與這些優(yōu)質(zhì)客戶(hù)長(cháng)期互信的合作，使公司形成良好的品牌效應，從而不斷的提升市場(chǎng)占有率，持續保持區域行業(yè)內的領(lǐng)先地位。

業(yè)績(jì)持續增長(cháng)。公司營(yíng)業(yè)收入保持穩定增長(cháng)，2019 年公司營(yíng)業(yè)收入為 6.66 億元，同比上升 6.57%，歸母凈利潤為 0.85 億元，同比上升 12.17%，其中，公司營(yíng)收主要貢獻來(lái)源為普通氣體，占比超過(guò) 65%。特種氣體占主營(yíng)業(yè)務(wù)收入比例不斷提升，占比由 2016年 6.55%上升至 2019 年 7.82%，2019 年特氣營(yíng)業(yè)收入為 5208.91 萬(wàn)元。

雅克科技：半導體新材料龍頭企業(yè)

半導體新材料龍頭企業(yè)。江蘇雅克科技股份有限公司成立于 1997 年，2010 年 5 月于深交所上市。公司以阻燃劑業(yè)務(wù)為基礎，2018 年，公司通過(guò)外延并購，成功切入半導體封裝材料領(lǐng)域、電子特氣領(lǐng)域、IC 材料等領(lǐng)域，逐步發(fā)展成為以新型復合材料和半導體材料為發(fā)展核心的綜合型企業(yè)。目前，公司從事的主要業(yè)務(wù)包括有機磷系阻燃劑業(yè)務(wù)、LNG 用保溫絕熱板材業(yè)務(wù)、硅微粉業(yè)務(wù)、半導體化學(xué)材料業(yè)務(wù)以及電子特氣業(yè)務(wù)，產(chǎn)品可應用于家居建材、交通工具、電子元器件、液化天然氣儲運設備、集成電路封裝、半導體設備等方面。

科美特為國內含氟電子特氣龍頭。雅克科技電子特種氣體主要通過(guò)子公司科美特運營(yíng)，公司于 2018 年收購并表?？泼捞爻闪⒂?2006 年 1 月 23 日，專(zhuān)注于含氟類(lèi)特種氣體的研發(fā)、生產(chǎn)、提純與銷(xiāo)售。目前具備六氟化硫產(chǎn)能 8500 噸/年和電子級四氟化碳1200 噸/年?？泼捞卦诟呒兌裙I(yè)六氟化硫和電子級四氟化碳的研究方面處于國內領(lǐng)先的地位，已與國內外知名的輸配電及控制設備企業(yè)建立了長(cháng)期穩定的合作關(guān)系，主要客戶(hù)包括西電集團、平高集團、山東泰開(kāi)、新東北、思源電氣、ABB 等。同時(shí)通過(guò)林德氣體、綠菱氣體、WONIKSMATERIALS 等氣體商大量出口至中國臺灣、韓國、美洲以及歐盟等世界各地。

電子特氣業(yè)務(wù)快速發(fā)展。公司業(yè)績(jì)整體呈現增長(cháng)狀態(tài)，2019 年營(yíng)業(yè)收入為 18.32億元，同比增長(cháng) 18.42%，歸母凈利潤為 2.93 億元，同比增長(cháng) 120.20%。自并表以來(lái)，公司電子特氣業(yè)務(wù)保持快速發(fā)展，2018 年-2019 年，公司電子特氣業(yè)務(wù)營(yíng)收分別為 2.57億元和 3.95 億元，占公司營(yíng)業(yè)收入比例分別為 16.6%和 21.57%，毛利率水平分別為44.35%和 50.89%。

南大光電：國內電子材料行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)

積極布局多維業(yè)務(wù)。江蘇南大光電材料股份有限公司成立于 2000 年，2012 年在創(chuàng )業(yè)板上市，公司成立初期主營(yíng)業(yè)務(wù)為主要業(yè)務(wù)高純金屬有機化合物(MO 源)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，是全球 MO 源領(lǐng)導供應商之一。公司積極拓展新的領(lǐng)域，通過(guò)設立子公司全椒南大光電材料有限公司，進(jìn)入了特種氣體領(lǐng)域，其中砷烷、磷烷已經(jīng)成功量產(chǎn)并供應多家客戶(hù)，公司正在推進(jìn)光刻膠及配套材料業(yè)務(wù)和 ALD 前驅體產(chǎn)品業(yè)務(wù)。在長(cháng)期的發(fā)展過(guò)程中，公司形成了較為完備的研發(fā)設計體系，積累了一定的研究成果，通過(guò)逐年加大科研力度，技術(shù)實(shí)力得到不斷增強，獲得多項專(zhuān)利。

收購飛源氣體，拓展公司電子特氣發(fā)展空間。2019 年，公司收購山東飛源氣體有限公司 57.97%股權，飛源氣體是國內 NF3 重要供應商中唯一民企，主要從事三氟化氮、六氟化硫及其副產(chǎn)品的生產(chǎn)及銷(xiāo)售，是臺積電、中芯國際、京東方等一線(xiàn)大廠(chǎng)的主要供應商。本次收購對南大光電電子特種氣體業(yè)務(wù)的發(fā)展具有重要的戰略?xún)r(jià)值，有助于發(fā)揮南大光電和山東飛源氣體市場(chǎng)互補優(yōu)勢，實(shí)現協(xié)同營(yíng)銷(xiāo)，擴大電子特氣在 LCD、IC 領(lǐng)域的交叉滲透。

業(yè)績(jì)穩健增長(cháng)，電子特氣表現亮眼。公司業(yè)績(jì)保持穩健增長(cháng)，2019 年公司營(yíng)業(yè)收入為 3.21 億元，同比增長(cháng) 40.85%，歸母凈利潤為 0.44 億元，同比增長(cháng) 7.36%，布局的電子氣體業(yè)務(wù)逐漸成長(cháng)為支撐公司高速發(fā)展的新動(dòng)力，電子特氣業(yè)務(wù)占營(yíng)收比例不斷提高，2019 年電子特氣業(yè)務(wù)營(yíng)收為 1.64 億元，同比增長(cháng) 108.81%，占營(yíng)收比例為 50.91%，成為公司新的盈利增長(cháng)點(diǎn)。

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（報告觀(guān)點(diǎn)屬于原作者，僅供參考。報告來(lái)源：中泰證券）