Ⅰ、高純氣體供應目前主要有三種輸送形式

①外購液態(tài)氣體，氣化后管道輸送供氣；

②現場(chǎng)制做氣，管道輸送供氣；

③外購氣體鋼瓶，用氣體鋼瓶（組）供氣。

某個(gè)工程，采用何種方式 ，主要根據工廠(chǎng)的生產(chǎn)規模及氣體耗量、用氣質(zhì)量，以及工廠(chǎng)所在城市或區域的氣體市場(chǎng)供應等因素經(jīng)過(guò)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定。

Ⅱ、高純氣體管道閥門(mén)連接

高純氣體管道與閥門(mén)等附件連接應采用密封不易泄漏的專(zhuān)用接頭予以連接，常用的接頭方式有兩種：分別為VCR(Vacuum Coupling Retainer)和SWG(Swaglok)，VCR采用優(yōu)良的金屬墊，利用縱向壓力壓緊，因此泄漏率極低，約為10～9A cc/s，且耐壓較高，常用于氣體雜質(zhì)含量1.0×10-9級的高純氣輸送系統，而SWG則不如VCR，耐壓較低，基本上這兩種接頭方式的安全性足可代替焊接的方式。

Ⅲ、高純氣體管道安全閥

安全閥是啟閉件受外力作用下處于常閉狀態(tài)，當設備或管道內的介質(zhì)壓力升高超過(guò)規定值時(shí)，通過(guò)向系統外排放介質(zhì)來(lái)防止管道或設備內介質(zhì)壓力超過(guò)規定數值的特殊閥門(mén)。安全閥屬于自動(dòng)閥類(lèi)，主要用于鍋爐、壓力容器和管道上，控制壓力不超過(guò)規定值，對人身安全和設備運行起重要保護作用，注安全閥必須經(jīng)過(guò)壓力試驗才能使用。

Ⅳ、管道針型閥連接

針型閥形比其他類(lèi)型的閥門(mén)能夠耐受更大的壓力，密封性能好，所以一般用于較小流量較高壓力的氣體密封，針型閥與壓力表配合使用是最合適的了，一般的針型閥形都做成螺紋連接。

Ⅴ、氣體管路連接

1、法蘭連接

管道與設備、管道與閥門(mén)的連接，在一些要求不高的氣體管道可以采用法蘭連接，墊片使用軟金屬墊片或聚四氟乙烯墊片。 由于石棉會(huì )產(chǎn)生粉塵而橡膠的透氣性大和吸水性強而且容易老化， 所以不采用石棉墊片或橡膠整片。

2、表面密封連接件連接

法蘭連接時(shí)氣體和密封材料接觸面大，表面磨損也較大，所以對于高純氣體管道不采用法蘭連接。大多采用表面密封連接件，絕大多數采用VCR密封件形式。VCR連接方式氣體不接觸密封材料，流通表面幾乎沒(méi)有磨損，它是縱向壓力進(jìn)行壓緊，選用質(zhì)量?jì)?yōu)良的金屬墊，便可以做到很好的密封不泄露、污染少，因此得到廣泛采用。 選用時(shí)做到連接件材料與主管材料一致，內表面光潔等級一致。

3、卡套連接

卡套接頭即使是同一廠(chǎng)家一批貨，這幾種接頭體上錐形孔的深度往往不相同，結果就造成了泄漏，而此問(wèn)題往往被忽視。正確的做法是，管子一端用什么樣的接頭體連接，即對應的連接端則用相同類(lèi)型的接頭預裝，這樣能最大限度地避免出現泄漏問(wèn)題。 卡套連接安裝方便 可以提高工作效率 現在各行各業(yè)用得比較廣泛，比焊接穩定性差一點(diǎn)。

4、螺紋連接

螺紋連接對大宗氣體，且純度要求不高的氣體管道，當采用鍍鋅鋼管時(shí) ，采用螺紋連接。 螺紋連接的密封材 料采用聚四氟乙烯密封帶 ，不得采用傳統的油麻。密封帶纏繞要得當。不能纏繞的太厚、過(guò)長(cháng)，纏繞太厚或纏繞過(guò)多超出管螺紋端頭坡 口的話(huà)，在螺紋旋緊時(shí)，密封帶會(huì )被絲咬切下，落人管道內形成較大的污染物，因此端口螺紋從坡口始，留出2-3個(gè)凸牙不纏繞密封帶是必要的。

Ⅵ、焊接連接管道焊接連接，可以采用對接焊 、承插焊或套管式接

1、對接焊

對于要求純度很高的管道，采用內壁無(wú)瘢痕的對接焊 。高純氬氣保護焊。

2、承插焊

對于純度要求相對低一些的管道可以采用承插焊或套管焊，承插焊氣體殘留空間比較大。

3、套管焊接

吹凈比較困難 ，現在比較多的采用套管焊接。 套管焊接應使套管和主管具有同等材料和內表面等級， 結合部的間隙不能過(guò)大，重疊部分也不宜過(guò)長(cháng)，較為合適的重疊長(cháng)度在 5mm內。 套管內管加工時(shí)，應使主管過(guò)盈 ，這樣主管被套管緊緊包裹后施焊，焊渣不會(huì )落人管內。而且氣體死空間也小，容易吹凈 。

Ⅶ、高純氣體供應系統控制

使用的氣瓶和備用氣瓶之間有一個(gè)半自動(dòng)調節閥來(lái)控制。所有氣體管路都是高質(zhì)量的、完全退火、無(wú)縫不銹鋼SS-316L。所有氧氣管路都需完全清理干凈，使其適合氧氣使用。氣體管路需要有安全壓力釋放閥門(mén)、壓力調節閥門(mén)、壓力表來(lái)指示氣體壓力。